超精密零件加工在尺寸精度、形状精度、表面质量等多个方面都有极其严格的要求，以下是具体介绍：
尺寸精度
公差范围极小：超精密零件的尺寸公差通常被控制在微米（μm）甚至纳米（nm）级别。例如，在航空航天领域，一些发动机叶片的关键尺寸公差可能要求控制在 ±5μm 以内；在半导体制造中，芯片制造所使用的光刻掩膜版的线条宽度公差可达到 ±10nm 左右。
一致性要求高：对于一批超精密零件，不仅单个零件要满足高精度要求，而且零件之间的尺寸一致性也必须极高。以手机摄像头中的微型光学镜片为例，同一批次镜片的直径尺寸偏差要控制在极小范围内，否则会影响摄像头的成像质量。
形状精度
平面度：要求零件的表面平整度极高，例如，精密光学平面镜的平面度可能要求达到 λ/10 甚至更高（λ 为光的波长，通常取 632.8nm），即平面的起伏偏差在几十纳米以内。
圆度：像航空发动机的涡轮轴等关键零件，其圆度误差通常要求控制在 0.001mm 以下，以确保在高速旋转时的稳定性和可靠性。
圆柱度：对于一些高精度的液压油缸、气动元件等，圆柱度要求严格，可能在 0.002mm - 0.005mm 之间，以保证良好的密封性和运动精度。
位置精度
同轴度：在汽车发动机的曲轴加工中，各轴颈的同轴度误差一般要求控制在 0.02mm - 0.05mm 之间，否则会影响发动机的动力输出和稳定性。
垂直度与平行度：在精密模具制造中，模具的上下模板之间的平行度误差通常要求控制在 0.05mm 以内，以保证模具在合模时的精度，从而生产出高质量的产品。
表面质量
表面粗糙度：超精密零件的表面粗糙度一般要求达到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低。如硬盘的磁头滑块表面，为了减少与磁盘的摩擦和提高读写性能，表面粗糙度可能达到 Ra0.005μm 左右。
表面完整性：除了粗糙度外，还要求表面无微观裂纹、划痕、毛刺、氧化层等缺陷。例如在光学镜片的加工中，表面任何微小的划痕或裂纹都可能导致光线散射，影响光学性能。
材料性能一致性
微观组织均匀性：零件材料的微观组织如晶粒大小、相组成等要均匀一致。以高强度合金钢制造的航空零部件为例，若材料微观组织不均匀，会导致零件在受力时出现局部应力集中，降低零件的整体性能和使用寿命。
性能稳定性：材料的力学性能、物理性能等要稳定。在电子元器件制造中，用于制造芯片的半导体材料，其电阻率、载流子迁移率等性能参数必须在严格的范围内，否则会影响芯片的性能和可靠性。
装配精度
间隙配合精度：在机械手表的机芯装配中，齿轮与轴之间的间隙配合精度通常要求控制在 0.01mm - 0.03mm 之间，以保证手表的走时精度。
过盈配合精度：在汽车发动机的活塞与活塞销装配中，过盈量一般控制在 0.03mm - 0.05mm 之间，确保活塞与活塞销之间既能传递动力，又能在不同工况下保持良好的工作状态。
